W 시리즈는 Bowman의 최첨단 사양을 적용한 웨이퍼 전용 측정 모델입니다.
Poly-caplilary Optics를 사용하여 7.5um FWHM의 작은 점에 엑스레이를 집중 조사하며,
높은 해상도의 Large window SDD 검출기를 사용하여 시료를 정밀하게 분석합니다.
넓은 이동 거리를 가진 XY 스테이지를 사용하여, 12인치 웨이퍼의 모든 면적을 자동으로 측정할 수 있습니다.
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