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X-ray fluorescence 물질이 X선 조사를 받으면 그것의 전자 일부는 에너지를 얻고 원자를 남기게 됩니다. 이때 비어있는 전자껍질은 공간을 만들어 내고, 그것에 의해서 우리가 X선 형광이라 알고 있는, X선 에너지의 광자를 방출합니다. 형광 X선의 에너지 준위나 파장은 원자의 원자번호에 비례하고 특정 물질을 나타냅니다. 에너지 방출량은 측정하는 물질의 두께에 따라 달라집니다. 기본적으로, X선 형광 장비는 엑스레이 튜브와 반도체 검출기(Si PIN 혹은 SDD)로 이루어져 있습니다. 방출된 광자는 검출기를 통해서 수집되고 측정 소프트웨어는 이를 스펙트럼화 하여 측정된 물질과 두께를 계산합니다. X선 형광은, 직경이 작은 크기의 부품, 혹은 동 위에 코팅된 금이나 니켈과 같은 다층 도금의 측정에 가장 정확한 방법입니다. |
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